SZ51和SZ61顯微鏡配有內(nèi)置防靜電保護(hù)裝置，可生成具有優(yōu)異景深、清晰、細(xì)致、顏色逼真的圖像。其可靠、高性能的光學(xué)部件是保證準(zhǔn)確觀測(cè)結(jié)果的核心。
小型設(shè)計(jì)和光學(xué)性能并存
實(shí)現(xiàn)了小型機(jī)體的格里諾（Greenough）光學(xué)系統(tǒng)
搭載了格里諾（Greenough）光學(xué)系統(tǒng)，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了大范圍的變焦比和清晰的觀察影像。靈活運(yùn)用了格里諾光學(xué)系統(tǒng)的特性，機(jī)體線條流暢而小巧。能在生產(chǎn)流水線發(fā)揮威力的同時(shí)，也適合與設(shè)備組裝使用。
V字形光路使物鏡的形狀能設(shè)計(jì)成細(xì)長(zhǎng)形，也適合與設(shè)備組裝使用。工作性能優(yōu)越的小型機(jī)體誕生了。
實(shí)現(xiàn)了高度平直度和較深的焦點(diǎn)深度
內(nèi)向角的格里諾光學(xué)設(shè)計(jì)，使高度平直度和較深的焦點(diǎn)深度能同時(shí)實(shí)現(xiàn)。能從前面到內(nèi)部正確對(duì)焦凹凸很大的樣品，得到充滿立體感的觀察圖像。
實(shí)現(xiàn)了忠實(shí)于樣品的觀察影像
自然的色彩再現(xiàn)功能，能夠觀察到樣品原來的顏色。影像平面彎曲的控制，能更為逼真的觀察到樣品的形狀。此外，變焦比為6.7（0.67倍～4.5倍）［SZ61］,5（0.8倍～4倍）［SZ51］，性能優(yōu)越。
對(duì)應(yīng)ESD，防止器件受到靜電影響
機(jī)體和主要附件涂以防靜電材料，能夠快速去除靜電。這樣就能夠防止靜電破壞樣品。
根據(jù)用途選擇機(jī)體
除了標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)的SZ61/51以外，我們還準(zhǔn)備了適合安裝數(shù)碼照相機(jī)的三目鏡筒型號(hào)（SZ61TR），和適合設(shè)備加載的俯角60°型號(hào)（SZ61/51-60）。
標(biāo)準(zhǔn)型 (SZ61/SZ51)
三目鏡筒型 (SZ61TR)
設(shè)備加載型 (SZ61/SZ51-60)
多樣化的照明單元
LED照明底座組合
開發(fā)了使用LED的透射照明底座。薄型設(shè)計(jì)降低了樣品的位置，發(fā)揮了優(yōu)異的操作性能。此外，透射、外延的切換可以通過旋轉(zhuǎn)輕松操作。
雙分支互鎖導(dǎo)光管高亮度反射照明裝置組合
使用雙分支互鎖導(dǎo)光管可以將光線投向樣品的兩側(cè)，能自由地調(diào)節(jié)位置和角度。如果使用聚光透鏡，則能夠容易的進(jìn)行點(diǎn)照明，從而確保高倍率觀察時(shí)的充分亮度。
同軸光反射照明裝置組合
能夠觀察在偏斜反射照明中無法觀察的樣品，是SZ61專用的照明裝置。
白色LED照明裝置組合
實(shí)現(xiàn)了高性價(jià)比的高亮度連續(xù)調(diào)光，是熱影響小、壽命長(zhǎng)的環(huán)形照明裝置。
多種附件支持各種觀察方法
備有各種通用支架
SZ2-ST組合
SZ2-STU2組合
SZ2-STU3組合
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)。可以保存和記錄數(shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告。可依據(jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。
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SZX16研究級(jí)系統(tǒng)體視顯微鏡
SZX16研究級(jí)系統(tǒng)立體顯微鏡是根據(jù)檢測(cè)應(yīng)用的需求設(shè)計(jì)的，0.7x – 11.5x，變倍比可達(dá)16.4倍，分辨率可達(dá)900 LP/mm。能夠滿足廣泛的研究需求。
優(yōu)越光學(xué)性能帶來的鮮明觀察影像
SZX16: 16.4:1的變倍比,0.7X-11.5X連續(xù)和有級(jí)變倍
高分辨率效應(yīng)力物鏡,多款倍率選擇
明場(chǎng),偏光,熒光系統(tǒng)配套
環(huán)形LED,100W鹵素光源等多種光源
實(shí)驗(yàn)室配備機(jī)型
技術(shù)規(guī)格
| 光學(xué)系統(tǒng) | 伽利略光學(xué)系統(tǒng) | |||||
| 總放大［率］ | 2.1x～690x※1 | |||||
| 變倍體 | 變焦比 | 16.4（0.7x～11.5x） | ||||
| AS | 內(nèi)置 | |||||
| 觀察筒 | 雙目/三目/傾斜三目觀察筒 | |||||
| 對(duì)焦單元 | 對(duì)焦裝置/粗調(diào)微調(diào)對(duì)焦裝置/重負(fù)載用粗調(diào)微調(diào)對(duì)焦裝置/電動(dòng)對(duì)焦裝置 | |||||
| 物鏡 | 倍率 | 種類 | N.A. | W.D.（mm） | 觀察倍率※2 | 觀察范圍（mm）※2 |
| 0.3x | 平面半消色差透鏡 | 0.045 | 141 | 2.1x～34.5x | φ104.8～φ6.4 | |
| 0.5x | 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 | 0.075 | 70.5 | 3.5x～57.5x | φ62.9～φ3.8 | |
| 0.8x | 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 | 0.12 | 81 | 5.6x～92x | φ39.3～φ2.4 | |
| 1x | 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 | 0.15 | 60 | 7x～115x | φ31.4～φ1.9 | |
| 1.6x | 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 | 0.24 | 30 | 11.2x～184x | φ19.6～φ1.2 | |
| 2x | 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 | 0.3 | 20 | 14x～230x | φ15.7～φ1 | |
| 外形尺寸 | 285（W）×335（D）×403（H）mm | |||||
| 重量 | 7 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） | |||||
| 備注 | ※1 物鏡與目鏡組合時(shí)的倍率范圍 | |||||
| ※2 使用目鏡10x時(shí) | ||||||
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SZX10研究級(jí)系統(tǒng)立體視顯微鏡
SZX10是可再現(xiàn)樣品自然顏色和形貌的應(yīng)用領(lǐng)域較為廣泛的系統(tǒng)體視顯微鏡。寬范圍的變倍比（10倍），工作距離81mm，開口數(shù)0.1（采用1倍物鏡時(shí)）?？商峁└吖鈱W(xué)性能和舒服的操作環(huán)境。
SZX10: 10:1的變倍比,0.63X-6.3X連續(xù)和有級(jí)變倍
高分辨率效應(yīng)力物鏡,多款倍率選擇
明場(chǎng),偏光,熒光系統(tǒng)配套
環(huán)形LED,100W鹵素光源等多種光源
技術(shù)規(guī)格
| 光學(xué)系統(tǒng) | 伽利略光學(xué)系統(tǒng) | |||||
| 總放大［率］ | 3.15x～378x※1 | |||||
| 變倍體 | 變焦比 | 10（0.63x～6.3x） | ||||
| AS | 內(nèi)置 | |||||
| 觀察筒 | 雙目/三目/傾斜三目觀察筒 | |||||
| 對(duì)焦單元 | 對(duì)焦裝置/粗調(diào)微調(diào)對(duì)焦裝置/重負(fù)載用粗調(diào)微調(diào)對(duì)焦裝置/電動(dòng)對(duì)焦裝置 | |||||
| 物鏡 | 倍率 | 種類 | N.A. | W.D.（mm） | 觀察倍率※2 | 觀察范圍（mm）※2 |
| 0.5x | 平場(chǎng)消色差透鏡 | 0.05 | 171 | 3.2x～31.5x | φ69.8～φ7 | |
| 0.75x | 平場(chǎng)消色差透鏡 | 0.075 | 116 | 4.7x～47.3x | φ46.6～φ4.7 | |
| 1x | 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 | 0.1 | 81 | 6.3x～63x | φ34.9～φ3.5 | |
| 消色差透鏡 | 0.1 | 90 | 6.3x～63x | φ34.9～φ3.5 | ||
| 1.25x | 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 | 0.125 | 60 | 7.9x～78.9x | φ27.9～φ2.8 | |
| 消色差透鏡 | 0.125 | 68 | 7.9x～78.9x | φ27.9～φ2.8 | ||
| 1.5x | 平場(chǎng)消色差透鏡 | 0.15 | 45.5 | 9.5x～94.5x | φ23.3～φ2.3 | |
| 2x | 平場(chǎng)消色差透鏡 | 0.2 | 33.5 | 12.6x～126x | φ17.5～φ1.7 | |
| 外形尺寸 | 285（W）×335（D）×400（H）mm | |||||
| 重量 | 7 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） | |||||
| 備注 | ※1 物鏡與目鏡組合時(shí)的倍率范圍 | |||||
| ※2 使用目鏡10x時(shí) | ||||||
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SZX7體視顯微鏡，價(jià)格適中、操作簡(jiǎn)便，并配有7:1變焦率功能和內(nèi)置防靜電保護(hù)裝置，采用了先進(jìn)的伽利略光學(xué)系統(tǒng)，可生成優(yōu)異的高畫質(zhì)圖像。
優(yōu)異的可視性和豐富的擴(kuò)展性能
人體工程學(xué)設(shè)計(jì)
多樣化的照明單元
通用的支架和數(shù)碼成像
技術(shù)規(guī)格
|
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易于使用，具有基本功能
僅需一套系統(tǒng)即可同時(shí)應(yīng)對(duì)初步檢驗(yàn)和微米級(jí)分析
- 減少觀察過程中的反復(fù)嘗試，提高檢驗(yàn)速度 使用一臺(tái)儀器即可進(jìn)行初步的宏觀分析
- 和詳細(xì)的微觀分析
為您的分析選擇超好的鏡頭
- 我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像
- 工作距離長(zhǎng)，可降低碰撞樣品的幾率
- 一個(gè)物鏡兼具高分辨率和長(zhǎng)工作距離
可信的測(cè)量結(jié)果
- 遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，提供有保證的準(zhǔn)確度，確保獲得高精度的測(cè)量結(jié)果
DSX1000 系列數(shù)碼顯微鏡相對(duì)傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡的 5 大優(yōu)勢(shì)
01
放大倍數(shù)范圍寬、集多功能于一體的系統(tǒng)
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
僅需一套易用的系統(tǒng)即可完成檢驗(yàn)
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
需要兩臺(tái)顯微鏡完成檢驗(yàn)，一臺(tái)放大倍數(shù)低，一臺(tái)放大倍數(shù)高
02
在高放大倍率下生成高分辨率圖像
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
單個(gè)物鏡具有高分辨率和長(zhǎng)工作距離
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
分辨率隨著放大倍率增加而降低
03
長(zhǎng)工作距離的物鏡
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
觀察不規(guī)則的樣品而避免撞到它們
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
物鏡會(huì)撞到樣品，可能造成損壞
04
一鍵式多種觀察方法切換
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
可在任何放大倍率下使用所有 6 種觀察方法
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
只提供一或兩種觀察方法，限制了對(duì)樣品的觀察
05
有保證的準(zhǔn)確度
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
在所有放大倍率下均可保證準(zhǔn)確度和重復(fù)性
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
測(cè)量準(zhǔn)確度無法保證
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡系列
DSX1000 從入門型至高配型的系列，可滿足您的各種觀察需求。
入門型
易于使用，具有基本功能
傾斜型
從多角度觀察您的樣品
高分辨率型
可生成高分辨率圖像以進(jìn)行分析
高配置型
6 種觀察方法和測(cè)量功能
DSX1000 物鏡
我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，包括超長(zhǎng)工作距離和高數(shù)值孔徑的豐富選擇，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像。
超長(zhǎng)工作距離物鏡
在鏡頭和樣品間提供了長(zhǎng)工作距離。
高分辨率、長(zhǎng)工作距離物鏡
提供高分辨率和長(zhǎng)工作距離。
高性能、高數(shù)值孔徑的物鏡
實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高性能觀察。
超長(zhǎng)工作距離物鏡
- 在鏡頭和樣品間提供了長(zhǎng)工作距離
- 適用于觀察大型不規(guī)則的樣品，如模具和金屬零件
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場(chǎng) (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-SXLOB1X | ||||
 |
51.7 | 20 – 140X | 19,200 – 2,740 | 0.03 |
| ?*DSX10-SXLOB1X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB3X | ||||
 |
66.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-SXLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB10X | ||||
 |
50.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.2 |
| ?*DSX10-SXLOB10X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
高分辨率、長(zhǎng)工作距離物鏡
- 兼具高分辨率和長(zhǎng)工作距離
- 電子電路板的理想選擇
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場(chǎng) (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-XLOB3X | ||||
 |
41.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-XLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-XLOB10X | ||||
 |
30 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.3 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB20X | ||||
 |
20 | 280 – 2800X | 1,370 – 140 | 0.45 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB40X | ||||
 |
4.5 | 560 – 5600X | 690 – 70 | 0.8 |
| ? | ||||
高性能、高數(shù)值孔徑 (NA) 物鏡
- 實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高性能觀察
- 適用于以更高分辨率觀察樣品，如半導(dǎo)體 和晶片
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場(chǎng) (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| MPLFLN1.25X | ||||
 |
3.5 | 23 – 175X | 17,100 – 2,190 | 0.04 |
| ?*MPLFN1.25X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN2.5X | ||||
 |
10.7 | 38 – 350X | 10,200 – 1,100 | 0.08 |
| ?*MPLFN2.5X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN5XBDP | ||||
 |
12 | 70 – 700X | 5,480 – 550 | 0.15 |
| MPLFLN10XBDP | ||||
 |
6.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.25 |
| MPLFLN20XBDP | ||||
 |
3 | 280 – 2800X | 1,370 -140 | 0.4 |
| MPLFLN50XBDP | ||||
 |
1 | 700 – 7000X | 292 – 37 | 0.75 |
| MPLAPON50X | ||||
 |
0.35 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.95 |
| ?*MPLAPON50X 不支持暗場(chǎng)和 MIX 觀察 | ||||
| LMPLFLN10XBD | ||||
 |
10 | 140 – 1550 – 55400X | 2,740- 270 | 0.25 |
| LMPLFLN20XBD | ||||
 |
12 | 280 – 2800X | 1,370- 140 | 0.4 |
| LMPLFLN50XBD | ||||
 |
10.6 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.5 |
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡 – 傾斜型
從多角度觀察您的樣品
查看整張圖片：20X 至 7000X 放大倍率范圍
- 單擊即可無縫切換放大倍率，進(jìn)行從宏觀分析到細(xì)節(jié)的觀察
- 提供多功能、大景深、高分辨率、長(zhǎng)工作距離的多種類物鏡，支持更多的分析檢驗(yàn)工作
- 當(dāng)您傾斜變焦頭部時(shí)，光學(xué)器件保持視場(chǎng)不變，可從多個(gè)角度觀察您的樣品
快速切換節(jié)省時(shí)間
- 快速、輕松地改變放大倍率
- 只需單擊即可改變觀察和照明方法
- 可在任何放大倍率下使用所有觀察方法
易于使用的操控手柄
- 轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕即可進(jìn)行樣品的光學(xué)縮放 單擊即可輕松捕獲 2D 或 3D 圖像，
- 或者移動(dòng) XY載物臺(tái)
- 按下按鈕即可在 6 種不同觀察方法間切換
DSX1000 系列數(shù)碼顯微鏡相對(duì)傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡的 5 大優(yōu)勢(shì)
01
放大倍數(shù)范圍寬、集多功能于一體的系統(tǒng)
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
僅需一套易用的系統(tǒng)即可完成檢驗(yàn)
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
需要兩臺(tái)顯微鏡完成檢驗(yàn)，一臺(tái)放大倍數(shù)低，一臺(tái)放大倍數(shù)高
02
在高放大倍率下生成高分辨率圖像
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
單個(gè)物鏡具有高分辨率和長(zhǎng)工作距離
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
分辨率隨著放大倍率增加而降低
03
長(zhǎng)工作距離的物鏡
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
觀察不規(guī)則的樣品而避免撞到它們
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
物鏡會(huì)撞到樣品，可能造成損壞
04
一鍵式多種觀察方法切換
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
可在任何放大倍率下使用所有 6 種觀察方法
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
只提供一或兩種觀察方法，限制了對(duì)樣品的觀察
05
有保證的準(zhǔn)確度
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
在所有放大倍率下均可保證準(zhǔn)確度和重復(fù)性
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
測(cè)量準(zhǔn)確度無法保證
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡系列
DSX1000 從入門型至高配置型的系列，可滿足您的各種觀察需求。
入門型
易于使用，具有基本功能
傾斜型
從多角度觀察您的樣品
高分辨率型
可生成高分辨率圖像以進(jìn)行分析
高配置型
6 種觀察方法和測(cè)量功能
DSX1000 物鏡
我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，包括超長(zhǎng)工作距離和高數(shù)值孔徑的豐富選擇，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像。
超長(zhǎng)工作距離物鏡
在鏡頭和樣品間提供了長(zhǎng)工作距離。
高分辨率、長(zhǎng)工作距離物鏡
提供高分辨率和長(zhǎng)工作距離。
高性能、高數(shù)值孔徑的物鏡
實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高性能觀察。
超長(zhǎng)工作距離物鏡
- 在鏡頭和樣品間提供了長(zhǎng)工作距離
- 適用于觀察大型不規(guī)則的樣品，如模具和金屬零件
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場(chǎng) (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-SXLOB1X | ||||
|
51.7 | 20 – 140X | 19,200 – 2,740 | 0.03 |
| ?*DSX10-SXLOB1X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB3X | ||||
|
66.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-SXLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB10X | ||||
|
50.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.2 |
| ?*DSX10-SXLOB10X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
高分辨率、長(zhǎng)工作距離物鏡
- 兼具高分辨率和長(zhǎng)工作距離
- 電子電路板的理想選擇
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場(chǎng) (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-XLOB3X | ||||
|
41.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-XLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-XLOB10X | ||||
|
30 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.3 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB20X | ||||
|
20 | 280 – 2800X | 1,370 – 140 | 0.45 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB40X | ||||
|
4.5 | 560 – 5600X | 690 – 70 | 0.8 |
| ? | ||||
高性能、高數(shù)值孔徑 (NA) 物鏡
- 實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高性能觀察
- 適用于以更高分辨率觀察樣品，如半導(dǎo)體 和晶片
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場(chǎng) (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| MPLFLN1.25X | ||||
|
3.5 | 23 – 175X | 17,100 – 2,190 | 0.04 |
| ?*MPLFN1.25X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN2.5X | ||||
|
10.7 | 38 – 350X | 10,200 – 1,100 | 0.08 |
| ?*MPLFN2.5X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN5XBDP | ||||
|
12 | 70 – 700X | 5,480 – 550 | 0.15 |
| MPLFLN10XBDP | ||||
|
6.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.25 |
| MPLFLN20XBDP | ||||
|
3 | 280 – 2800X | 1,370 -140 | 0.4 |
| MPLFLN50XBDP | ||||
|
1 | 700 – 7000X | 292 – 37 | 0.75 |
| MPLAPON50X | ||||
|
0.35 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.95 |
| ?*MPLAPON50X 不支持暗場(chǎng)和 MIX 觀察 | ||||
| LMPLFLN10XBD | ||||
|
10 | 140 – 1550 – 55400X | 2,740- 270 | 0.25 |
| LMPLFLN20XBD | ||||
|
12 | 280 – 2800X | 1,370- 140 | 0.4 |
| LMPLFLN50XBD | ||||
|
10.6 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.5 |
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡-高配置型
6 種觀察方法和測(cè)量功能
高速捕獲高分辨率 3D 圖像
- 憑借顯微鏡的優(yōu)化算法，按下按鈕即可快速獲取 3D 圖像 改進(jìn)的拼接算法，提供無明顯邊界的清晰圖像
始終了解您的角度
- 通過顯微鏡的編碼硬件，您可實(shí)時(shí)跟蹤圖像的傾斜和旋轉(zhuǎn)角度信息
- 在載物臺(tái)被轉(zhuǎn)動(dòng)后移動(dòng)載物臺(tái)，無需接觸樣品
用多功能操控手柄進(jìn)行快速分析
- 易于使用的多功能操控手柄幫助您快速完成
- 輕松一按即可捕獲 2D/3D 圖像，或者移動(dòng) XY載物臺(tái)
有保證的*準(zhǔn)確度，確?？尚诺挠^察結(jié)果
- 在所有放大倍率下，準(zhǔn)確度和重復(fù)性均可得到保證*?自動(dòng)校準(zhǔn)可減少測(cè)量波動(dòng)
- 進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，從而在您的工作環(huán)境中獲得優(yōu)良性能
*為了保證 XY 準(zhǔn)確度，需由奧林巴斯的服務(wù)技術(shù)人員負(fù)責(zé)校準(zhǔn)工作。
DSX1000 系列數(shù)碼顯微鏡相對(duì)傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡的 5 大優(yōu)勢(shì)
01
放大倍數(shù)范圍寬、集多功能于一體的系統(tǒng)
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
僅需一套易用的系統(tǒng)即可完成檢驗(yàn)
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
需要兩臺(tái)顯微鏡完成檢驗(yàn)，一臺(tái)放大倍數(shù)低，一臺(tái)放大倍數(shù)高
02
在高放大倍率下生成高分辨率圖像
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
單個(gè)物鏡具有高分辨率和長(zhǎng)工作距離
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
分辨率隨著放大倍率增加而降低
03
長(zhǎng)工作距離的物鏡
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
觀察不規(guī)則的樣品而避免撞到它們
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
物鏡會(huì)撞到樣品，可能造成損壞
04
一鍵式多種觀察方法切換
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
可在任何放大倍率下使用所有 6 種觀察方法
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
只提供一或兩種觀察方法，限制了對(duì)樣品的觀察
05
有保證的準(zhǔn)確度
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
在所有放大倍率下均可保證準(zhǔn)確度和重復(fù)性
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
測(cè)量準(zhǔn)確度無法保證
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡系列
DSX1000 從入門型至高配置型的系列，可滿足您的各種觀察需求。
入門型
易于使用，具有基本功能
傾斜型
從多角度觀察您的樣品
高分辨率型
可生成高分辨率圖像以進(jìn)行分析
高配置型
6 種觀察方法和測(cè)量功能
DSX1000 物鏡
我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，包括超長(zhǎng)工作距離和高數(shù)值孔徑的豐富選擇，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像。
超長(zhǎng)工作距離物鏡
在鏡頭和樣品間提供了長(zhǎng)工作距離。
高分辨率、長(zhǎng)工作距離物鏡
提供高分辨率和長(zhǎng)工作距離。
高性能、高數(shù)值孔徑的物鏡
實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高性能觀察。
超長(zhǎng)工作距離物鏡
- 在鏡頭和樣品間提供了長(zhǎng)工作距離
- 適用于觀察大型不規(guī)則的樣品，如模具和金屬零件
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場(chǎng) (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-SXLOB1X | ||||
|
51.7 | 20 – 140X | 19,200 – 2,740 | 0.03 |
| ?*DSX10-SXLOB1X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB3X | ||||
|
66.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-SXLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB10X | ||||
|
50.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.2 |
| ?*DSX10-SXLOB10X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
高分辨率、長(zhǎng)工作距離物鏡
- 兼具高分辨率和長(zhǎng)工作距離
- 電子電路板的理想選擇
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場(chǎng) (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-XLOB3X | ||||
|
41.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-XLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-XLOB10X | ||||
|
30 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.3 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB20X | ||||
|
20 | 280 – 2800X | 1,370 – 140 | 0.45 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB40X | ||||
|
4.5 | 560 – 5600X | 690 – 70 | 0.8 |
| ? | ||||
高性能、高數(shù)值孔徑 (NA) 物鏡
- 實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高性能觀察
- 適用于以更高分辨率觀察樣品，如半導(dǎo)體 和晶片
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場(chǎng) (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| MPLFLN1.25X | ||||
|
3.5 | 23 – 175X | 17,100 – 2,190 | 0.04 |
| ?*MPLFN1.25X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN2.5X | ||||
|
10.7 | 38 – 350X | 10,200 – 1,100 | 0.08 |
| ?*MPLFN2.5X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN5XBDP | ||||
|
12 | 70 – 700X | 5,480 – 550 | 0.15 |
| MPLFLN10XBDP | ||||
|
6.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.25 |
| MPLFLN20XBDP | ||||
|
3 | 280 – 2800X | 1,370 -140 | 0.4 |
| MPLFLN50XBDP | ||||
|
1 | 700 – 7000X | 292 – 37 | 0.75 |
| MPLAPON50X | ||||
|
0.35 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.95 |
| ?*MPLAPON50X 不支持暗場(chǎng)和 MIX 觀察 | ||||
| LMPLFLN10XBD | ||||
|
10 | 140 – 1550 – 55400X | 2,740- 270 | 0.25 |
| LMPLFLN20XBD | ||||
|
12 | 280 – 2800X | 1,370- 140 | 0.4 |
| LMPLFLN50XBD | ||||
|
10.6 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.5 |
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明晰的顯微觀察 便捷的顯微操作
為工業(yè)和材料學(xué)應(yīng)用而設(shè)計(jì)
BX53M系列采用了模塊化設(shè)計(jì)，為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案。BX53根據(jù)工業(yè)和材料學(xué)的不同應(yīng)用，可以組合成反射顯微鏡、透反射顯微鏡、紅外顯微鏡、偏光顯微鏡等多種應(yīng)用的顯微鏡。
用戶友好性
簡(jiǎn)單的、向?qū)降娘@微鏡操作設(shè)置，使用戶更容易進(jìn)行調(diào)節(jié)，并復(fù)制系統(tǒng)設(shè)置。
功能性
BX53MM為傳統(tǒng)的工業(yè)顯微鏡檢查而設(shè)計(jì)，并擴(kuò)展了其功能，以滿足更廣泛的應(yīng)用和檢查技術(shù)的要求。
光學(xué)元件
奧林巴斯公司具有生產(chǎn)高質(zhì)量光學(xué)元件的悠久歷史，無論用目鏡觀察，還是通過顯示器觀察，都具備很好的圖像畫質(zhì)。
可定制性
模塊化設(shè)計(jì)可以為用戶靈活地構(gòu)建滿足其特殊要求的系統(tǒng)。
直觀的顯微鏡控制便于使用
顯微檢查任務(wù)常常需要用很長(zhǎng)的時(shí)間來調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像，以及進(jìn)行必要的測(cè)量，從而得到令人滿意的報(bào)告。用戶有時(shí)需要投入時(shí)間和精力去完成專業(yè)的顯微鏡培訓(xùn)，或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。
BX53M通過其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和便捷的控制功能，簡(jiǎn)化了復(fù)雜的顯微檢查任務(wù)。用戶不需要長(zhǎng)時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX3M方便的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性，很大程度減少了人為錯(cuò)誤。
編碼硬件：很容易恢復(fù)顯微鏡設(shè)置
BX53M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強(qiáng)度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動(dòng)控制器里。編碼功能使顯微鏡設(shè)置能夠與每幅圖像一起自動(dòng)保存，從而使此后還原設(shè)置，以及為報(bào)表提供文檔記錄更加方便。既節(jié)省了操作者的時(shí)間，又可減小了使用不正確設(shè)置的概率。當(dāng)前的觀察設(shè)置總是清晰地顯示在手動(dòng)控制器和軟件上。
智能光強(qiáng)管理：一致的照明
在初始安裝時(shí)，可以調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配。
方便而人性化的操作
人性化對(duì)所有用戶都至關(guān)重要。無論是單機(jī)顯微鏡用戶，還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的、人性化操作的手動(dòng)控制器。簡(jiǎn)單的手動(dòng)開關(guān)，使用戶能夠把時(shí)間專注于樣品本身和所需實(shí)施的檢查。
MIX組合式觀察：讓以往看不見的圖像顯示出來
BX53M的MIX組合式觀察技術(shù)組合了明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明方法。對(duì)突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面很有用處。
即時(shí)拼圖（MIA）：輕松移動(dòng)載物臺(tái)，可進(jìn)行全景攝影
現(xiàn)在僅僅移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像，不再需要電動(dòng)載物臺(tái)。
奧林巴斯Stream軟件采用圖案識(shí)別技術(shù)來生成全景圖像，為用戶提供了比單一畫面更寬的視野。
輕松實(shí)現(xiàn)超景深圖像（EFI）題
奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過物鏡焦深的樣品圖像，并把它們疊加在一起，創(chuàng)建出一幅超景深圖像。可以使用手動(dòng)或電動(dòng)Z軸機(jī)構(gòu)來執(zhí)行EFI，并創(chuàng)建一幅高度圖，以輕松地識(shí)別結(jié)構(gòu)。也可以用Stream桌面版在離線時(shí)創(chuàng)建EFI圖像。
光學(xué)技術(shù)的悠久歷史
奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學(xué)儀器研發(fā)的悠久歷史，創(chuàng)造了多項(xiàng)光學(xué)質(zhì)量的記錄，保證了顯微鏡優(yōu)異的測(cè)量精度。
LED照明
BX53M為反射光和透射光照明提供了高強(qiáng)度的白光LED光源。LED提供了持久而長(zhǎng)壽命的照明，是材料學(xué)檢測(cè)應(yīng)用的理想工具。
自動(dòng)校準(zhǔn)
類似于數(shù)碼顯微鏡，使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)也能夠?qū)嵤┳詣?dòng)校準(zhǔn)。能夠獲得更可靠的測(cè)量結(jié)果。
技術(shù)規(guī)格
BX53M規(guī)格（用于反射和反射/透射光組合）
| BX53MTRF-S | BX53MRF-S | BXFM | ||
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正） | |||
| 顯微鏡機(jī)架 | 照明 | 反射/透射 | 反射 | |
| 對(duì)焦 | 行程：25 mm 每轉(zhuǎn)的微調(diào)行程：100 μm 刻度可小到：1 μm 配有上限限位器，用于粗調(diào)手柄的扭力調(diào)節(jié) |
行程：30 mm 每轉(zhuǎn)的微調(diào)行程：200 μm 刻度可小到：2 μm 配有用于粗調(diào)手柄的扭力調(diào)節(jié) |
||
| 樣品高度可到 | 35 mm (不含高度適配器) 75 mm (帶BX3M-ARMAD) |
65 mm (不含高度適配器) 105 mm (帶BX3M-ARMAD) |
取決于安裝配置 | |
| 觀察筒 | 寬視野FN22 | 倒像：雙目、三目、傾斜式雙目 正像：三目、傾斜式雙目 |
||
| 超寬視野FN26.5 | 倒像：三目 正像：三目、傾斜式三目 |
|||
| 反射光照明 | 常規(guī)觀察技術(shù) | BX3M-RLAS-S 編碼，白光LED，BF/DF/DIC/POL/MIX FS，AS（帶對(duì)中裝置） BX3M-KMA-S 白光LED，BF/DIC/POL/MIX FS，AS（帶對(duì)中裝置） BX3M-RLA-S 100W/50W鹵素?zé)?，白光LED，BF/DF/DIC/POL/MIX FS，AS（帶對(duì)中裝置）， BF/DF切換時(shí)中密度濾色片聯(lián)動(dòng) |
||
| – | U-KMAS 白光LED，100W鹵素?zé)?br /> 光纖照明，BF/DIC/POL/MIX |
|||
| 熒光 | BX3M-URAS-S 編碼，100W汞燈，4孔位分光鏡組件轉(zhuǎn)換器，（標(biāo)準(zhǔn)：WB, WG, WU+BF等) FS，AS（帶對(duì)中裝置），帶光閘裝置 |
|||
| 透射光 | 白光LED 阿貝/長(zhǎng)工作距離聚光鏡 |
– | ||
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 用于BF | 六孔，對(duì)中六孔，七孔，編碼五孔（選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器） | ||
| 用于BF/DF | 六孔，五孔，對(duì)中五孔，編碼五孔（選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器） | |||
| 載物臺(tái) | 同軸左手（右手）操作載物臺(tái)： 76mm×52mm，采用扭力調(diào)節(jié) 大型同軸左手（右手）操作載物臺(tái)： 100mm×105mm，帶Y軸鎖定裝置 大型同軸右手操作載物臺(tái)： 150mm×100mm，帶扭力調(diào)節(jié)和Y軸鎖定裝置 |
– | ||
| 重量 | 大約18.3 kg （顯微鏡機(jī)架7.6 kg） |
大約15.8 kg （顯微鏡機(jī)架7.4 kg） |
大約11.1 kg （顯微鏡機(jī)架1.9 kg） |
|
BX53M規(guī)格（用于紅外觀察）
| BX53MRF-S | BXFM | ||
| IR觀察筒 | 寬視野FN22 | 倒像：三目 | |
| 反射光照明 | IR觀察 | BX3M-RLA-S IR用100W/50W鹵素?zé)?，BF/IR，AS（帶對(duì)中裝置） BX3M-URAS-S IR用100W/50W鹵素?zé)?，BF/IR，AS（帶對(duì)中裝置） |
|
| – | U-KMAS IR用100W/50W鹵素?zé)?，BF/IR |
||
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 用于BF | 六孔，對(duì)中六孔，七孔，編碼五孔（選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器） | |
| Stage (X × Y) | 同軸左手（右手）操作載物臺(tái)： 76mm×52mm，采用扭力調(diào)節(jié) 大型同軸左手（右手）操作載物臺(tái)： 100mm×105mm，帶Y軸鎖定裝置 大型同軸右手操作載物臺(tái)： 150mm×100mm，帶扭力調(diào)節(jié)和 Y軸鎖定裝置 |
– | |
| 重量 | 大約18.9 kg（顯微鏡機(jī)架7.4 kg） | 大約11.6 kg（顯微鏡機(jī)架1.9 kg） | |
BX53M規(guī)格（用于偏光觀察）
| BX53MTRF-S | ||
| 偏光中間附件 （U-CPA或U-OPA） |
寬視野FN22 | 倒像：雙目、三目、傾斜式雙目 正像：三目、傾斜式雙目 |
| 勃氏鏡 | 可對(duì)焦（僅適用于U-CPA） | |
| 勃氏鏡視場(chǎng)光闌 | 直徑?3.4mm（固定）（僅適用于U-CPA） | |
| 切換正像鏡檢和錐光鏡檢時(shí)加入或退出勃氏鏡 | 滑塊位置 ● 進(jìn)入 滑塊位置 ○ 退出 （僅適用于U-CPA） |
|
| 檢偏鏡插槽 | 旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插槽（U-AN360P-2） | |
| 檢偏鏡（U-AN360P-2） | 可旋轉(zhuǎn)360°的撥盤 可旋轉(zhuǎn)的角度可小到0.1° |
|
| 對(duì)中式物鏡轉(zhuǎn)換器（U-P4RE） | 四孔，附對(duì)中裝置：1/4λ偏振片(U-TAD)， 試板(U-TP530) 和各種補(bǔ)色器均可連接補(bǔ)色器適配器（U-TAD）使用。 |
|
| 載物臺(tái)（U-SRP） | 帶3點(diǎn)對(duì)中功能的偏光專用旋轉(zhuǎn)載物 可旋轉(zhuǎn)360°，可鎖定在任何位置，360°每刻度遞增1° （分辨率可小至6’，使用游標(biāo)尺） 45°鎖定功能 可安裝移動(dòng)標(biāo)本夾（U-FMP） |
|
| 聚光鏡（U-POC-2） | 消色差無應(yīng)力聚光鏡（U-POC-2），帶外擺式消色差頂部透鏡的可旋轉(zhuǎn)360°起偏鏡。 “0°”刻度處的鎖定機(jī)構(gòu)可調(diào)節(jié)。 NA0.9（頂部鏡頭內(nèi)擺） NA0.18（頂部鏡頭外擺） 孔徑光闌：直徑從2mm到21mm可調(diào)節(jié) |
|
| 重量 | 大約16.2 kg（顯微鏡機(jī)架7.6 kg） | |
概述
OLS5000激光共焦顯微鏡可準(zhǔn)確測(cè)量亞微米級(jí)的形貌和表面粗糙度。數(shù)據(jù)采集??比奧林巴斯以前的顯微鏡型號(hào)快四倍，從而大大提高了生產(chǎn)效率。
高分辨率，準(zhǔn)確成像
憑借對(duì)各種類型樣品進(jìn)行準(zhǔn)確3D測(cè)量的能力，系統(tǒng)可提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)。
橫向分辨率
 |
405納米紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡難以發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷。 | |
 |
 |
|
| 紅光型（658納米：0.26微米空間) | 微米紫光型（405納米：0.12線和空間) | |
一致的測(cè)量值
LEXT專用物鏡可準(zhǔn)確測(cè)量采用其他方式測(cè)量會(huì)發(fā)生畸變的周邊區(qū)域。
傳統(tǒng)物鏡
LEXT物鏡
新開發(fā)的MEMS掃描振鏡
新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學(xué)像差，可進(jìn)行準(zhǔn)確的X-Y掃描。
4K掃描技術(shù)
4K掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素，是奧林巴斯以前顯微鏡型號(hào)的四倍。
OLS5000顯微鏡可在無需進(jìn)行圖像校正的情況下檢測(cè)幾乎垂直的陡峭斜面以及很低的臺(tái)階。
捕獲真實(shí)形貌
由于傳統(tǒng)激光顯微鏡采用諸如平滑去除噪聲等標(biāo)準(zhǔn)圖像處理技術(shù)，其有時(shí)會(huì)將準(zhǔn)確測(cè)得的細(xì)微高度不規(guī)則測(cè)量數(shù)據(jù)連同噪聲一起去除。
OLS5000顯微鏡采用奧林巴斯自動(dòng)檢測(cè)可靠數(shù)據(jù)的智能判別算法，可在不丟失細(xì)微高度不規(guī)則測(cè)量數(shù)據(jù)的情況下實(shí)現(xiàn)去確測(cè)量。
其他高分辨率測(cè)量技術(shù)
- MEMS掃描PEAK算法
- 雙共焦系統(tǒng)
- Sq噪聲（測(cè)量噪聲）保證
- 準(zhǔn)確性和重復(fù)性均可保證
- 混合匹配算法
- 混合阻尼機(jī)構(gòu)
- HDR掃描
快速采集結(jié)果：高速掃描
PEAK算法
VLSI標(biāo)準(zhǔn)80納米高度樣品(MPLFLN10XLEXT)
OLS5000顯微鏡采用了用于3D數(shù)據(jù)構(gòu)建的PEAK算法。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采集時(shí)間。
跳躍式掃描
在不降低精度的情況下，測(cè)量700微米的臺(tái)階大約在15秒左右（使用MPLAPON20x物鏡時(shí)）。
其他提高速度的技術(shù)
- 頻帶掃描
- 1線數(shù)據(jù)采集
效率工作：簡(jiǎn)單的操作程序
簡(jiǎn)化測(cè)量區(qū)域
測(cè)量?jī)蓚€(gè)指定區(qū)域之間的臺(tái)階高度差和距離
測(cè)量?jī)蓚€(gè)指定區(qū)域之間的角度差
測(cè)量指定區(qū)域的面積/體積；自動(dòng)檢測(cè)參考平面，因此無需設(shè)置閾值。
測(cè)量指定區(qū)域的表面粗糙度
通過自動(dòng)檢測(cè)指定區(qū)域的邊緣測(cè)量寬度
基于指定區(qū)域中的圓形自動(dòng)識(shí)別測(cè)量半徑R和距離基準(zhǔn)平面的高度
自動(dòng)圖像校正
智能判別處理可在無損數(shù)據(jù)精度的情況下自動(dòng)消除測(cè)量噪聲，而智能找平功能可探測(cè)零高度位置的主水平面（參考平面）。簡(jiǎn)單一次點(diǎn)擊即可啟動(dòng)兩項(xiàng)工作。
利用模板節(jié)省時(shí)間
報(bào)告中包含的所有操作和過程均可保存為模板。
在重復(fù)進(jìn)行相同測(cè)量時(shí)，使用此模板可采用同流程獲得下一組數(shù)據(jù)的分析報(bào)告。
無需操作人員干預(yù)即可指定操作流程和測(cè)量點(diǎn)的功能能夠以很小差異進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的分析。
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| 輸出報(bào)告并進(jìn)行測(cè)量 | 輸出報(bào)告并保存模板 | 在下次采集過程中，打開已保存的模板 | 即刻輸出基于模板的報(bào)告 |
令系統(tǒng)更便于使用的其他技術(shù)
- 實(shí)時(shí)宏觀測(cè)圖
- 連續(xù)自動(dòng)對(duì)焦
- 智能掃描II
- 宏功能
靈活：可測(cè)量尺寸較大的樣品
可測(cè)量高度可到210毫米的樣品
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OLS5000顯微鏡的擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品，而超長(zhǎng)工作距離物鏡能夠測(cè)量深度達(dá)到25毫米的凹坑。 在進(jìn)行這兩種測(cè)量時(shí)，您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可。 |
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| 連桿 | 刀具 | 活塞頭 | |
LEXT專用長(zhǎng)工作距離物鏡
奧林巴斯可提供能夠針對(duì)405納米激光減小像差的10x至100x系列物鏡。本系列還包括低倍率和長(zhǎng)工作距離物鏡。所有LEXT專用物鏡均可確保測(cè)量性能，由此可以選擇適合您所觀察樣品的一款物鏡。
Rubert & Co標(biāo)準(zhǔn)粗糙度樣板528 (Pt = 1.5微米)
常規(guī)物鏡（50X）
LEXT專用物鏡（50X）
超長(zhǎng)工作距離物鏡
我們的LEXT專用物鏡系列產(chǎn)品包括增強(qiáng)顯微鏡測(cè)量性能的10x物鏡和長(zhǎng)工作距離物鏡。
應(yīng)用
汽車/金屬加工
表面紋理/面粗糙度測(cè)量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
噴油嘴(復(fù)制品)/面粗糙度測(cè)量(LMPLFLN50XLEXT)
活塞環(huán)/面粗糙度測(cè)量（MPLAPON50XLEXT）
軸承球/輪廓測(cè)量（MPLAPO50XLEXT）
材料
不銹鋼腐蝕坑/高度測(cè)量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
銅板/面粗糙度測(cè)量（MPLAPON50XLEXT）
擴(kuò)散板/輪廓測(cè)量（MPLAPON50XLEXT / 3×3拼接）
海綿/輪廓測(cè)量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
電子元器件
鎳塊/高度測(cè)量(MPLAPON20XLEXT)
MEMS超聲換能器(MPLAPON50XLEXT)
光刻膠/高度測(cè)量（MPLAPON100XLEXT）
鍵合金線（MPLAPON100XLEXT）
其他
微針/輪廓測(cè)量（MPLAPON50XLEXT / 6×6拼接）
皮膚（復(fù)制品）/面粗糙度測(cè)量（MPLAPON20XLEXT / 5×5拼接）
由文化學(xué)園大學(xué)服裝學(xué)院功能設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室提供
研磨石/輪廓測(cè)量（MPLAPON20XLEXT）
圓珠筆插座/面粗糙度測(cè)量（LMPLFLN20XLEXT）
技術(shù)規(guī)格
主機(jī)
| 型號(hào) | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
| 總倍率 | 54x – 17,280x | |||||
| 視場(chǎng)直徑 | 16um – 5,120um | |||||
| 測(cè)量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共聚焦激光掃描激光顯微鏡 | ||||
| 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 | ||||||
| 彩色 | ||||||
| 彩色DIC | ||||||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2ch） | |||||
| 彩色：CMOS彩色相機(jī) | ||||||
| 高度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.5nm | ||||
| Linear scale | 0.78nm | |||||
| 動(dòng)態(tài)范圍 | 16 bits | |||||
| 重復(fù)性*1 *2 *6 | 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm | |||||
| 準(zhǔn)確性*1 *3 *6 | 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) | |||||
| 拼接圖像準(zhǔn)確度 ?*1 *4 *6 | 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) | |||||
| 測(cè)量噪聲*1 *5 *6 | 1nm [Typ] | |||||
| 寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 1nm | ||||
| 重復(fù)性?*1 *6 | 10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm | |||||
| 準(zhǔn)確度*1 *3 *6 | 測(cè)量值 +/- 百分之1.5 | |||||
| 拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *6 | 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) | |||||
| 單次測(cè)量時(shí)測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量可到 | 4096 x 4096 pixel | |||||
| 測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量可到 | 36 Mpixel | |||||
| XY 載物臺(tái)配置 | 長(zhǎng)度測(cè)量模塊 | ? | 無 | 無 | ? | 無 |
| 工作范圍 | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | 300 x 300 mm Motorized | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | |
| 樣品高度可到 | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | 150mm | |
| 激光光源 | 波長(zhǎng) | 405nm | ||||
| 輸出可到 | 0.95 mW | |||||
| 激光分類 | 2類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
| 彩色光源 | 白光 LED | |||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
| 質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約31 kg | 約?32 kg | 約?50 kg | 約43 kg約 | ?44 kg |
| 控制箱 | 約12 kg | |||||
* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供保證（溫度：20?C±1?C, 濕度:50％±1％）。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物鏡測(cè)量時(shí)超過20次。
* 3 在使用LEXT專用物鏡測(cè)量時(shí)。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物鏡測(cè)量時(shí)的典型值。
* 5 基于奧林巴斯認(rèn)證體系保證。
物鏡技術(shù)規(guī)格
| 系列 | 型號(hào) | 數(shù)值孔徑（NA） | 工作距離（WD）（毫米） |
| UIS2物鏡 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
| MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
| LEXT專用物鏡（10X） | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
| MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 | |
| LEXT專用物鏡（高性能型) | MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 |
| MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
| LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 | |
| LEXT專用物鏡（長(zhǎng)工作距離型） | LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5 |
| LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
| SLMPLN20x | 0.25 | 25 | |
| 超長(zhǎng)工作距離物鏡 | SLMPLN50x | 0.35 | 18 |
| SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
| LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 | |
| 適用于LCD透鏡的長(zhǎng)工作距離 | LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 |
| LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
應(yīng)用軟件
| 標(biāo)準(zhǔn)軟件 | OLS50-BSW | 數(shù)據(jù)采集app 分析app (簡(jiǎn)單分析) |
| 電動(dòng)載物臺(tái)套裝應(yīng)用*1 | OLS50-S-MSP | |
| 擴(kuò)展分析應(yīng)用*2 | OLS50-S-AA | |
| 薄膜厚度測(cè)量 | OLS50-S-FT | |
| 自動(dòng)邊緣測(cè)量應(yīng)用 | OLS50-S-ED | |
| 顆粒物分析應(yīng)用 | OLS50-S-PA | |
| 多文件分析應(yīng)用 | OLS50-S-MA | |
| 球體/圓柱體表面角度分析應(yīng)用 | OLS50-S-SA | |
* 1包括自動(dòng)拼接數(shù)據(jù)采集和多區(qū)域數(shù)據(jù)采集功能。
* 2包括輪廓分析、差值分析、臺(tái)階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。
產(chǎn)品系列
OLS5000-SAF配置示例
OLS5000-SAF
- 100毫米電動(dòng)載物臺(tái)
- 樣品高度可到:100毫米
OLS5000-EAF
- 100毫米電動(dòng)載物臺(tái)
- 樣品高度可到:210毫米
OLS5000-SMF
- 100毫米手動(dòng)載物臺(tái)
- 樣品高度可到:40毫米
OLS5000-EMF
- 100毫米手動(dòng)載物臺(tái)
- 樣品高度可到:150毫米
OLS5000-LAF
- 300毫米電動(dòng)載物臺(tái)
- 樣品高度可到:37毫米
PC計(jì)算機(jī)和控制單元
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