近期有個(gè)客戶委托檢測(cè)（SKYLABS）對(duì)其的一個(gè)薄膜材料進(jìn)行厚度測(cè)量，這種薄膜材料一般都是um級(jí)別（1um=0.001mm），用普通方法測(cè)量是相對(duì)困難的。這里天縱君利用了我們的一套金相顯微鏡及其配合的軟件測(cè)量系統(tǒng)，相對(duì)比較圓滿的完成了此次測(cè)量任務(wù)。

【測(cè)試原理】采用金相顯微鏡檢測(cè)橫斷面，直接以標(biāo)尺以輔助測(cè)量金屬覆蓋層、氧化膜層的局部厚度的方法。

【參考標(biāo)準(zhǔn)】GB/T6462-2005

【測(cè)試儀器】金相顯微鏡及金相測(cè)量軟件

【測(cè)試范圍】一般好的樣品厚度檢測(cè)大于1um，才能保證測(cè)量結(jié)果在誤差范圍之內(nèi)；厚度越大，誤差越小。

【測(cè)試方法的優(yōu)缺點(diǎn)】這種測(cè)試方法的優(yōu)點(diǎn)在于適用的鍍層范圍內(nèi)測(cè)試結(jié)果特別準(zhǔn)確，誤差非常?。ń?jīng)微分尺校準(zhǔn)其的誤差可以在0.01um以下），可以選擇其作為爭(zhēng)議的仲裁決定方法；這種方法的缺點(diǎn)在于制備鍍層測(cè)厚試樣的過(guò)程耗時(shí)費(fèi)力。